1.形態(tài)必須耐高真空

　　如有些含水量很大的細(xì)胞，在真空中很快被抽干水分，細(xì)胞的形態(tài)也發(fā)生了改變，無(wú)法對(duì)各類型細(xì)胞進(jìn)行區(qū)分。

　　2.樣品表面不能含有有機(jī)油脂類污染物

　　油污在電子束作用下易分解成碳?xì)浠铮瑢?duì)真空環(huán)境造成極大污染。樣品表面細(xì)節(jié)被碳?xì)浠衔镎谏w；碳?xì)浠衔锝档土顺上裥盘?hào)產(chǎn)量；碳?xì)浠衔镂皆陔娮邮饴芬饦O大象散；碳?xì)浠衔锉晃皆谔綔y(cè)器晶體表面，降低探測(cè)器效率。對(duì)低加速電壓的電子束干擾嚴(yán)重。

　　3.樣品必須干燥

　　水蒸氣會(huì)加速電子槍陰極材料的揮發(fā)，從而極大降低燈絲壽命；水蒸氣會(huì)散射電子束，增加電子束能量分散，從而增大色差，降低分辨能力。

　　4.樣品表面可導(dǎo)電

　　大多數(shù)情況下，初級(jí)電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和，因此多余的電子必須導(dǎo)入地下，即樣品表面電位必須保持在0電位。如果樣品表面不導(dǎo)電，或者樣品接地線斷裂，那么樣品表面靜電荷存在，使得表面負(fù)電勢(shì)不斷增加，出現(xiàn)充電效應(yīng)，使圖像畸變，入射電子束減速，此時(shí)樣品如同一個(gè)電子平面鏡。對(duì)不導(dǎo)電的樣品，建議采用離子濺射鍍膜機(jī)噴鍍金屬，這樣可顯著提高掃描電子顯微鏡所觀察圖像的質(zhì)量。

　　5.特殊樣品制備考慮因素

　　掃描電鏡一般不建議觀測(cè)磁性材料，如果一定要觀測(cè)此類物質(zhì)，則建議對(duì)材料首**行退磁。如果要檢測(cè)觀察弱反差機(jī)理，就必須消除強(qiáng)反差機(jī)理，否則很難檢測(cè)到弱的反差。當(dāng)希望背散射電子衍射反差（EBSD），I和II型磁反差或其他弱反差機(jī)理時(shí)，磁性材料的磁疇特性必需消除樣品的形貌。采用化學(xué)拋光，電解拋光等，以使樣品產(chǎn)生一個(gè)幾乎消除形貌的鏡面。